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分子泵机组的特点及用途

来源：网络 | 发布时间：2024-01-16 |

    分子泵机组是一种集分子泵和前级泵于一体的设备，这种组合使得分子泵的优点得到了最大的发挥。其主要特点是在很宽的压力范围内（10-6至大气）工作，大大提高了泵的出口压力。
    分子泵利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子，使之获得定向速度，从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走。这种泵有两种主要类型：牵引分子泵和涡轮分子泵。牵引分子泵中，气体分子与高速运动的转子相碰撞而获得动量，被驱送到泵的出口。涡轮分子泵则靠高速旋转的动叶片和静止的定叶片相互配合来实现抽气，这种泵通常在分子流状态下工作。
    另外，分子泵机组有三种常见的类型：油润滑分子泵、脂润滑分子泵和全磁悬浮分子泵。其中，油润滑分子泵和脂润滑分子泵需要配备前级泵，一般使用旋片泵作为前级泵。
    分子泵机组在许多领域都有广泛的应用，如分析质谱分析、电子显微镜、半导体电子组件、集成电路、柔性太阳能电池等。同时，也常用于光学/玻璃行业（例如热保护，增透、反射、光学滤光膜）、镀膜行业（例如表面保护，装饰涂料，显示器，屏幕）以及真空冶金行业（例如真空炉、真空钎焊、真空烧结、真空合金等）。此外，它也常常用在泄漏检测领域（例如真空系统、车辆的油箱，安全气囊等）。