成都新德南光机械设备公司 > 分子泵的选型及注意事项

分子泵的选型及注意事项

来源：成都新德南光机械设备有限公司 | 发布时间：2016-05-04 |

满足系统的抽气要求，工作节拍
    在对系统的气载、工作节拍有较清楚计算的基础上，考虑配泵的大小，数量。
    同时还要考虑到前级泵的大小，以及分子泵在高压强段有效抽速降低等因素。
    对于大的工作腔室，要考虑配罗茨泵机组，使得系统尽快地渡过高压强工作段
满足系统的本底压强（极限）的要求
    系统的极限压强除与分子泵的极限压强有关外，与排气时间、腔室材料、法兰连接形式、清洁程度、是否烘烤等诸多因素有关。
    同一型号的分子泵在极限指标方面有微小差异，差异一般不会高于半个量级。
安装方式方面的考虑：
注意分子泵正常工作时所需的入口、出口压强等工作条件
在高压强段（1Pa左右）需较大排气能力时，可考虑选用复合型分子泵
若关心对某种气体的抽除能力（如该种气体的分压强值），还要注意分子泵对该气体的抽速、压缩比等参数。